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      氫化物氣體檢測分析儀

      【型  號】FP-260
      【品  牌】日本理研RIKEN
      【價  格】洽詢
      氫化物氣體檢測分析儀FP-260
      【主要技術指標】檢測半導體各種氣體
      【詳細技術指標】
      詳細介紹
      工業半導體凈化室的理想檢測儀
      更適于低濃度氣體檢測(ppm級)
      抗干擾性強
      盒式帶取放簡便
      盒帶剩余量顯示
      功能描述
      使用盒式紙帶的光電光度學原理
      盒式紙帶,VHS型快速更換型盒帶
      AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在檢測狀態耗能為35VA,在紙帶卷動時耗能為60VA)
      物理特性
      370mm
      275mm
      220mm
      約12kg
      持有證書
      CE
      其它
      檢測氣體和范圍
      檢測氣體
      TLV值
      檢測范圍
      解析值
      磷 PH4
      300ppb
      0--900ppb
      5
      四氫化硅 SiH4
      5ppm
      0--15ppm
      0.25
      乙硼烷 B2H6
      100ppb
      0--300ppb
      5
      砷烷AsH3
      50ppb
      0--150ppb
      1
      乙硅烷 SiH6
      5ppm
      0--10ppm
      0.1
      硫化氫 HS2
      10ppm
      0--100ppm
      1
      光氣 COCl2
      100ppb
      0--300ppb
      2
      氯氣 Cl2
      0.5ppm
      0--100ppb
      1
      硒化氫 H2Se
      50ppb
      0--300ppb
      2
      撥打電話
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